यात्रा रेंज
20 मिमी
संकल्प
0.125μm
repeatability
＜1μm
सीधा
＜2μm
समानता
＜5μm
पिचिंग
10″（50μrad）
जम्हाई लेना
अधिकतम गति
5 मिमी/सेकंड
भार क्षमता
10 किग्रा
वज़न
1.5 किलो
